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VEECO臭氧发生器与NANO15臭氧发生器对比

VEECO臭氧发生器与NANO15臭氧发生器对比

摘要

VEECO臭氧发生器与NANO15臭氧发生器对比VEECO臭氧发生器用于 Savannah® G2 ALD中,属于可选项选项:低蒸气压输送 (LVPD) 系统

更新时间:2024-12-04
来源:臭氧发生器
作者:同林科技
详细介绍相关案例

VEECO臭氧发生器与NANO15臭氧发生器对比

VEECO臭氧发生器用于 Savannah® G2  ALD中,属于可选项

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选项:低蒸气压输送 (LVPD) 系统

臭氧发生器

用于晶圆盒或 3D 物体

的圆顶盖 手套箱 接口

原位椭圆偏振法

原位石英晶体微天平 (QCM)

自组装单层 (SAM)

颗粒涂层


NANO15臭氧发生器

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NANO15臭氧发生器是适用于需要高浓度臭氧的应用的完美臭氧发生器。 Nano 仅需 4 LPM 氧气即可产生 15 克/小时的臭氧,是一款高效、紧凑的臭氧发生器套件。这种风冷式臭氧发生器的臭氧浓度可高达 12%(按重量计)。

如果您正在寻找VEECO臭氧发生器或德国BMT臭氧发生器替代方案,或者只是想要臭氧在水中的高溶解度,那么这对于您的应用来说是一款出色的臭氧发生器。

Nano 台式安装臭氧发生器结构紧凑、高效,是小型臭氧项目的很好工具。