半导体用高浓度臭氧发生器品牌有哪些
高浓度臭氧发生器臭氧浓度超过10%w国内的很少,主要是进口品牌,如加拿大Absolute Ozone、ozonia、wedeco、Primozone、TAPI等,但相对来说加拿大Absolute Ozone体格小、浓度高、价格低,其他几款体格比较大,价格高。
下面详细介绍一下加拿大Absolute Ozone
加拿大Absolute Ozone分为四个型号。AbsoluteOzone®NANO、ATLAS 30-80、TITAN 30-100、MAGNUM 160-200。特别推荐的是 ATLAS 30-UHC,这个浓度可高达22%.
1、AbsoluteOzone®NANO
许多臭氧发生器生产的臭氧浓度为3%,几乎达不到溶解的臭氧总量的30%,并且浪费了大量的氧气,NANO可溶解多达70%的臭氧,同时使用极少的氧气(4slpm),可将溶解的臭氧量增加一倍,紧凑的NANO臭氧发生器替换两台昂贵的低效笨重的臭氧发生器。
臭氧产量:15克/小时
浓度(O3重量百分比):5 -10%
气体流量:0.1-4 slpm
2、AbsoluteOzone®ATLAS 30
ATLAS不仅是性能部门的主导力量,而且比以往任何时候都更具功能性和直观性。ATLAS内部的每个组件均经过精心设计,以充分利用令人印象深刻的优雅紧凑型外壳。
很高 臭氧产生量:高达3.0 ppd(58 g / h)
标称工作压力:20 psig
浓度(O3重量百分比):5 -12%,
Atlas 30°C很高可达16%wt。
Atlas 30 UHC高达22%wt。
气体流量:0.1-4 slpm
Atlas 30 UHC浓度表如下
3、AbsoluteOzone®TITAN 30
由于采用了独特的优雅设计,利用微流体平台技术和出色的耐用性,所有风冷的AbsoluteOzone®发生器都能可靠地提供超纯,高浓度的臭氧,适用于各种特殊应用。该性能在业界具有可靠地生产高达16%重量百分比的高浓度臭氧的能力。
臭氧产量:1.6 ppd(30克/小时)
很高 臭氧产生量:高达3.0 ppd(58 g / h)
标称工作压力:20 psig
浓度(O3重量百分比):5 -12%
气体流量:0.1-10 slpm
4、AbsoluteOzone®MAGNUM 160
由于采用了独特的优雅设计,利用微流体平台技术和出色的耐用性,所有风冷的AbsoluteOzone®发生器都能可靠地提供超纯,高浓度的臭氧,适用于各种特殊应用。该性能在业界具有可靠地生产高达22%重量的高浓度臭氧的能力。
臭氧产量:8.5 ppd(160 g / h)
很高 臭氧生产量:高达9.5 ppd(180 g / h)
标准工作压力:40 psig
浓度(O3重量百分比):5 -12%
气体流量:0.1-50 slpm
具体选择哪个型号,需要根据您的应用来确定,欢迎联系我们!
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