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Ald设备用臭氧发生器配套有哪些

Ald设备用臭氧发生器配套有哪些

摘要

Ald设备用臭氧发生器配套有哪些ALD设备用臭氧发生器的配套设备主要有以下几种:氧气源:可用氧气瓶或液氧,通常使用高纯度氧气作为原料,纯度一般要求在99.99%

更新时间:2025-04-15
来源:www.tonglin.cn
作者:同林科技
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Ald设备用臭氧发生器配套有哪些

ALD设备用臭氧发生器的配套设备主要有以下几种:

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氧气源:可用氧气瓶或液氧,通常使用高纯度氧气作为原料,纯度一般要求在99.99%以上,为臭氧发生器提供产生臭氧的气源.

臭氧发生器:为ALD提供高浓度臭氧气体,浓度可在100mg/L或 200mg/L以上。

气体管道:用于连接臭氧发生器与ALD反应室,将生成的臭氧输送到反应室中,材质一般为耐腐蚀的材料,如不锈钢等.

气体流量控制器:可精确控制进入ALD系统的臭氧流量,保持反应环境中臭氧流量的稳定,确保反应的稳定性和重复性.

臭氧浓度监测器:实时监测生成的臭氧浓度,保证臭氧浓度符合ALD系统的要求,以便及时调整臭氧发生器的运行参数.

臭氧尾气分解器:由于臭氧是有毒气体,反应结束后需将尾气中的臭氧分解为无害物质,防止环境污染和人员伤害.

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