ALD设备配套使用臭氧尾气破坏装置介绍

F2臭氧尾气破坏装置是一款专为ALD设备设计的催化臭氧处理设备，采用先进的催化技术，将臭氧（O₃）高效转化为氧气（O₂）。其坚固的不锈钢结构确保了长期稳定运行，是ALD行业臭氧尾气处理的理想解决方案。

核心优势

高效转化：处理效率高达99.99%，轻松应对高浓度臭氧尾气。

坚固耐用：全不锈钢内部结构，无移动部件，适应苛刻工业环境。

灵活安装：支持垂直安装，可逆流动方向，无需区分进出口，操作更便捷。

经济环保：可更换催化剂介质，维护成本低，使用寿命长。

广泛适用：专为干燥臭氧气体设计（可达30 LPM流量），满足多种工业需求。

技术参数

处理能力：干燥臭氧气体，流量≤5L/min（100mg/L）或≤30L/min（200ppm）。

工作压力：进气压力＜0.1MPa。

接口标准：1/4NPT接口，轻松集成现有系统。

重量：仅3kg，轻巧便携。

轻松维护，省时省力

F2的催化剂更换简单快捷，仅需三步：

移除顶部盖板，取出内部滤网和垫圈。

倒出旧催化剂，填充全新介质。

复位盖板，全程不超过30分钟！

催化剂更换建议

干燥环境：使用寿命长达数年，无需频繁更换。

潮湿环境：建议每年检查，若效率下降或污染严重，及时更换。

意外受潮：可低温烘干（＜200℃），但更换新催化剂更能保障性能与安全。